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约有25%的芯片分布在300mm硅片的周边区域,近来的研究表明硅片周边区域的成品率仅为50%左右。芯片生产商越来越重视硅片边缘缺陷对合格率的影响,并积极的研发清洗方案提高良率。例如，采用边缘清洗技术能够控制边缘缺陷源，进而最大限度地提高成品率。
采用边缘清洗技术控制边缘缺陷提高成品率
【摘 要】
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约有25%的芯片分布在300mm硅片的周边区域,近来的研究表明硅片周边区域的成品率仅为50%左右。芯片生产商越来越重视硅片边缘缺陷对合格率的影响,并积极的研发清洗方案提高良
【机 构】
：
LamResearchCorp.
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
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2008年10期
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