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期刊论文
六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现
六英寸晶圆片自动倒片系统的设计与实现
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nose88
【摘 要】
:
介绍了六英寸晶圆片倒片系统的设计、及其控制系统硬件构成和软件编程。运行结果表明,系统稳定性好,可靠性高,满足实际的工业生产要求。
【作 者】
:
张孟莎
胡泓
刘凯
【机 构】
:
哈尔滨工业大学深圳研究生院机械工程与自动化学科部
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2010年3期
【关键词】
:
硅晶片倒片
PLC控制器
红外温度测量
wafer transfer
PLC controller
infrared temperature measure
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介绍了六英寸晶圆片倒片系统的设计、及其控制系统硬件构成和软件编程。运行结果表明,系统稳定性好,可靠性高,满足实际的工业生产要求。
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