利用扫描隧道显微镜制造纳米级结构

来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanyuanzhujinbo
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在大气环境中用STM进行纳米级超微加工.以高定向热解石墨(HOPG)和金薄膜作为样品,通过在STM探针和样品之间施加一定的脉冲电压制造出了尺度在纳米量级的结构.还对所形成的结构特征进行了分析,总结出部分规律. Nanoscale micromachining with STM in the atmosphere. Using highly oriented pyrolytic graphite (HOPG) and gold thin films as samples, a structure of nanoscale scale was fabricated by applying a certain pulse voltage between the STM probe and the sample. The structural features formed were also analyzed and some laws were summarized.
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