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利用重复频率为25 MHz 的飞秒激光刻写铌酸锂掩埋式光波导,研究了在激光作用中心及热影响区域的物质结构,采用650 nm 的激光进行端面耦合实验,观测刻写区域波导的光传输特性及损耗测量.研究发现,在激光刻写区域的上下两个部位分别形成了传输损耗低于1.5 dB/cm 的单模光波导,而刻写区域中心未形成波导结构且光传输性能较弱.拉曼分析显示,刻写区域上下两个部位形成了致密化波导结构,而刻写中心形成了大尺度的缺陷.