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飞秒激光微加工在微加工领域具有明显的优势:相比于长脉冲激光加工相比,它拥有更高的加工精度;相比于准分子激光加工相比,它可在材料任何位置进行微加工。当拥有超短脉冲和极高峰值功率的飞秒激光对材料进行微加工,材料快速吸收激光的能量,能量的沉积会改变电子的运动以及吸收方式,实现飞秒激光微加工“冷加工”。飞秒激光制备光波导具有高度集成化、便捷性等特点,是飞秒激光微加工领域的重要研究内容。光波导器件是实现功能化集成光学芯片的关键要素与基础载体,光在波导中传输的高能量密度也有益于实现基于非线性光学的各种现象。本论