系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ykl122

【摘要】

：

随着对微尺度下MEMS材料力学特性研究的深入，片上集成测试方法应用愈加广泛．针对MEMS系统具有多能量域耦合的特点，应用基于MEMS宏模型技术的系统级设计工具来获得整个系统的行为

【作者】

：

关乐褚金奎王晓东张段芹王立鼎

【机构】

：

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05A期

【关键词】

：

系统级设计宏模型集成测试杨氏模量 system-level design macromodel integrated testing Young

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

随着对微尺度下MEMS材料力学特性研究的深入，片上集成测试方法应用愈加广泛．针对MEMS系统具有多能量域耦合的特点，应用基于MEMS宏模型技术的系统级设计工具来获得整个系统的行为特性已成为研究热点．概述了几种建立MEMS宏模型的基本方法，并对其中的节点法进行了详细阐述，利用Coventor Ware软件设计了一种测试多晶硅杨氏模量的集成测试结构，首次将系统级设计方法引入集成测试结构的设计，提高了设计效率．仿真结果可靠．

其他文献

评张纵逸著《屈原与楚辞》

对屈原是法家思想的论述予以肯定,并引述原著中秦楚斗争的历史趋势加以分析,对儒墨名法学说加以比较,肯定法家思想在当时历史发展中的先进性,推动历史发展的积极性。肯定张纵

期刊

法家思想楚辞文化(长江文化)

调制电势脉冲型O2／CO2双组份电化学气体传感器研究

基于直接电流法检测ＣＯ２及Ｏ２干扰机理的研究，提出了调制电势脉冲－电流／库仑法快速同时测定Ｏ２和ＣＯ２的新原理，使用微电极并融合计算机控制的快速电势调制技术，建立了调制电势脉冲型Ｏ２／ＣＯ２双组份电化学

期刊

双组份电化学气体传感器氧二氧化碳double-component electrochemical gas sensor modulated. pote

一种集成式多参数硅微传感器

为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器。该传感器包括压力、温度和湿度传感器。各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成。该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成。测量电阻通过离子注入B+形成扩散电阻。为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置。温度输出信号可以实现对传感器中压力

期刊

压力传感器扩散温度传感器湿度传感器集成传感器pressure sensor spreading silicon temperature senso

专家称我国刑事诉讼法距发达健全仍有很大距离

8月24日，全国人大常委会审议了刑事诉讼法修正案草案。该草案共99条，拟将刑事诉讼法从原来的225条增加到285条。其中，草案规定在强制出庭制度中近亲属例外，还在规定严禁刑讯逼供

期刊

刑事诉讼法全国人大常委会距离专家刑事诉讼制度出庭制度刑讯逼供法治建设

理智参与金融衍生品市场

对于我国来说，规范和发展衍生产品交易是金融改革的应有之义，是中国银行业金融机构和广大银行业客户参与全球竞争的必经之路。培育我国金融衍生产品市场，就是要求一定要注意以参与者为本，通过推动所有参与者提高专业化知识与理解，提高运用金融衍生产品的能力，提高管理风险的能力，最终推动衍生产品市场以及整个社会经济金融的和谐发展。　　　　目前我国衍生产品市场的参与者主要包括：　　商业银行。商业银行是我国金融资产规

期刊

金融衍生品市场金融衍生产品市场中国银行业理智衍生产品交易金融改革全球竞争客户参与

文言文中的古字通假

了解"古字通假"知识,可以帮助青年读者尽快掌握通假字以及相近似的现象,从而提高文言文的阅读能力。

期刊

古字通假假借字古今字异体字

审计署审出71．35亿违规社保基金

11月23日，审计署公布了对29个省区市、5个计划单列市的企业职工基本养老保险基金、城镇职工基本医疗保险基金和失业保险基金的审计结果。审计显示，截至2005年底，上述三项保险基

期刊

违规问题审计署社保基金基本养老保险基金基本医疗保险基金失业保险基金计划单列市企业职工

试论辛弃疾词的浪漫主义精神

辛弃疾素以豪放著称于世,而豪放中流露出来的浪漫主义精神是其词章中的又一大特征。