硅器件玻璃钝化

来源 :沈阳机电学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lg97060329
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本文介绍了几种玻璃钝化的材料和附着玻璃膜的方法。特别论述硅器件玻璃钝化的原理和工艺流程。在文章中还给出国内外玻璃钝化的发展状况。 This article describes several glass-passivated materials and methods for attaching glass films. In particular, the principle of silicon passivation glass and process. In the article also gives the development of glass passivation at home and abroad.
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