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吉时利发布新的用于65nm及更小尺寸技术的半导体可靠性测试系统

来源 :电子测量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiongwen0225

【摘 要】

：

吉时利仪器公司发布新的S510半导体可靠性测试系统。是高通道测量的完整方案．用于先进65nm节点及更小尺寸的ULSI CMOS过程工艺的可靠性测试和寿命。它提供了晶圆级可靠性（WLR）测

【机 构】

：

美国吉时利仪器公司北京办事处

【出 处】

：

电子测量技术

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

吉时利仪器公司 可靠性测试 测试系统 半导体 小尺寸 技术 ULSI CMOS 过程开发 

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吉时利仪器公司发布新的S510半导体可靠性测试系统。是高通道测量的完整方案．用于先进65nm节点及更小尺寸的ULSI CMOS过程工艺的可靠性测试和寿命。它提供了晶圆级可靠性（WLR）测试的高吞吐速率和高度的灵活性。减少评估可靠性和完成寿命建模的时间．从而减少项目的技术研发和工艺过程开发的耗时，

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