【摘 要】
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电子工业需要使用多种高纯度的气体,随着生产的发展对气体的要求也越来越高.首先是要求生产高质量的气体以满足需要,但有了高纯气也还存在一个如何使用的问题.使用不当会对
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电子工业需要使用多种高纯度的气体,随着生产的发展对气体的要求也越来越高.首先是要求生产高质量的气体以满足需要,但有了高纯气也还存在一个如何使用的问题.使用不当会对已经很纯的气体引入杂质.使用高纯气体时用一般氧气减压阀和薄膜间进行减压,调整流速,对输气管道材质方面选择不当或在管道接头处用一段橡皮管作
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The deposition of hydrogenated amorphous silicon
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