【摘 要】
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等离子体处理在印制电路板加工应用非常广泛，在使用改进型半加成工艺（mSAP）制作线宽/线距≤45μm/45μm的高精密线路时，等离子体处理在提升线路加工良率的方面有着至关重要的作用。文章研究表明使用改进型半加成工艺制作高精密线路时在电镀加成前增加等离子体处理，可以有效改善线路图形，提升制作高精密线路的良率。
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等离子体处理在印制电路板加工应用非常广泛，在使用改进型半加成工艺（mSAP）制作线宽/线距≤45μm/45μm的高精密线路时，等离子体处理在提升线路加工良率的方面有着至关重要的作用。文章研究表明使用改进型半加成工艺制作高精密线路时在电镀加成前增加等离子体处理，可以有效改善线路图形，提升制作高精密线路的良率。
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