【摘 要】
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<正>氧化镓（β-Ga2O3）单晶是一种第四代超宽禁带氧化物半导体,其禁带宽度为4.84.9eV,具有独特的紫外透过特性（吸收截止边260nm）;击穿电场强度高达8MV/cm,是Si的近27倍、SiC及GaN
【机 构】
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同济大学,物理科学与工程学院高等研究院,上海 200092上海蓝宝石单晶工程技术研究中心,上海 200092;
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<正>氧化镓（β-Ga2O3）单晶是一种第四代超宽禁带氧化物半导体,其禁带宽度为4.84.9eV,具有独特的紫外透过特性（吸收截止边260nm）;击穿电场强度高达8MV/cm,是Si的近27倍、SiC及GaN的2倍以上,巴利加优值分别是SiC、GaN的10倍、4倍以上,并且可以采用熔体法生长大尺寸体单晶,因此β-Ga2O3已成为超高压功率器件和深紫外光电子器件的优选材料之一。由于其在军事、能源、医疗、环境等领域的重要应用价值,近年来,氧化镓材料及器件的研究与应用成为当前美国、日本、德国等国家的研究热点和竞争重
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