【摘 要】
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借助热机械分析，Ｘ射线衍射和ＳＥＭ研究了ＡｇＡｌＧｅ合金的线膨胀系数，结构和用Ａｇ２４Ａｌ４３Ｇｅ３３焊接的硅和钼连接界面的结构，探讨了银对它们的影响。结果表明：ＡｇＡｌＧｅ的线膨胀系数接近银的膨胀系数。在硅和钼的连接界面
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借助热机械分析，Ｘ射线衍射和ＳＥＭ研究了ＡｇＡｌＧｅ合金的线膨胀系数，结构和用Ａｇ２４Ａｌ４３Ｇｅ３３焊接的硅和钼连接界面的结构，探讨了银对它们的影响。结果表明：ＡｇＡｌＧｅ的线膨胀系数接近银的膨胀系数。在硅和钼的连接界面存在Ａｇ２Ａｌ，Ａｌ和Ｇｅ，Ａｇ２Ａｌ的存在提高了连接界面的再熔化温度，减少了硅片的腐蚀深度。
The effects of Ag on the linear expansion coefficient, the structure and the structure of the interface between Si and Mo soldered with Ag24Al43Ge33 were investigated by means of thermomechanical analysis, X-ray diffraction and SEM. The results show that the linear expansion coefficient of AgAlGe approaches the silver expansion coefficient. The presence of Ag2Al, Al and Ge at the interface between silicon and molybdenum increases the remelting temperature at the interface and reduces the corrosion depth of the silicon wafer.
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