离子注入在Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中的应用

来源 :半导体杂志 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xueyingnn

【摘要】

：

介绍了离子注入ⅢⅤ族化合物半导体的特点，论述了离子注入ⅢⅤ族化合物半导体获得ｎ、ｐ型及深补偿能级的研究现状，讨论了离子注入ⅢⅤ族化合物后的退火及其保护问题。 Th

【作者】

：

李玉国薛成山刘秀喜

【机构】

：

河北工业大学!天津,300130,河北工业大学!天津,300130,河北工业大学!天津,300130

【出处】

：

半导体杂志

【发表日期】

：

1999年03期

【关键词】

：

离子注入化合物半导体快速热退火电子迁移率退火温度两性杂质埋层载流子浓度外延层激活率

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

介绍了离子注入ⅢⅤ族化合物半导体的特点，论述了离子注入ⅢⅤ族化合物半导体获得ｎ、ｐ型及深补偿能级的研究现状，讨论了离子注入ⅢⅤ族化合物后的退火及其保护问题。 The characteristics of ion-implanted III-V compound semiconductors are introduced. The research status of n, p-type and deep compensation levels for ion-implanted III-V compound semiconductors is discussed. The annealing and Its protection issues.

其他文献

评介京粤KJRJ通用会计核算软件

京粤KJRJ通用会计核算软件(以下简称KJRJ软件),是由京粤汉字电脑技术研究开发中心、中国计算机用户协会分布式微机软件分会和上海财经大学等单位共同研究开发的通用会计核算

期刊

会计核算软件KJRJ研究开发中心重点科技攻关分布式信息处理财务分析报表格式软件功能银行对帐单磁性介质

一种具有恒定能量回馈的吸收电路

本文给出一种具有恒定能量回馈的无源吸收电路，它适合高功率逆变器工作．分析和仿真表明在一个较宽的负载电流范围内，此吸收电路可将约６５％的吸收电路能量回送到直流电网．文中给出了仿

期刊

吸收电路逆变器能量回馈实验波形电子模块逆变桥电流范围反向恢复电感电流开关元件

锁相放大法测量光波长移动的原理误差分析

用干涉法测量光波长移动所产生的相位，是光纤布喇格光栅解调系统等光电传感系统中广泛采用的测量技术。本文对采用该方法所引入的测量原理误差进行理论分析和计算机仿真。在光

期刊

光波长原理误差锁相放大器光纤布喇格光栅计算机仿真中心波长初始偏差光程差波长检测干涉法

电子政务:实践错位及其化解

面对全球化和信息化的复杂治理生态,传统公共行政片面追求效率的价值理念和体系表现为诸多的不适,往往处于"低效率、高成本"的局面,亦引致治理盲区和治理失灵共存的窘境。电子政务成为整合政府治理资源、提升政府治理能力的重要政策举措。但信息技术与政治系统的内在逻辑差异性使电子政务的实践存在错位现象:工具理性张扬与价值理性湮灭、信息孤岛。要化解我国电子政务建设中的实践错位,就必须对错位的表状和导因进行针对性的对策设计。

期刊

电子政务传统公共行政政府治理能力价值理性工具理性政策举措我国政府部门新型政府管制型政府全能政府

流传百代千年后定识人间有此人郭嵩焘赠孙琴泉书法四条屏

郭嵩焘赠孙琴泉书法四条屏,各屏175×46厘米,画芯157.5×41厘米;洒金笺纸本,清式全绫原装精裱(图1)。全文如下(标点符号为笔者所加): Guo Song 焘 donated Sun Qinquan four

期刊

条屏郭嵩洒金曾文正公诗文集直隶按察使简札黄鲁直名人录美术出版社养知书屋文集

基于FAST的综合电子政务主题词表分面式改造

指出现有综合电子政务主题词表在应用中的不足,将FAST主题词分面应用原理和理念移植到电子政务主题词表改造中,详细探讨改造过程中分面的界定、分面的设置等具体问题,在FAST

期刊

主题词表电子政务分面FAST检准率电子政务信息应用原理政务信息公开相关主题词检索需求

利用3D数字乳腺体层摄影进行人群筛查提高癌症检出率并改变召回率

摘要目的比较数字乳腺体层摄影(DBT)筛查和二维乳腺X线摄影在癌症召回率和检出率(CDR)中的差异,并在单个美国医学中心放射科依据病人年龄、危险因素、乳腺密度的因素,比较影

期刊

乳腺召回率检出体层摄影人群筛查影像科医师伦理委员会美国医学女性乳腺癌乳腺疾病诊断

清产核资的观念要更新

根据加强国有资产管理的要求和企事业单位财务管理体制的变化,传统清产核资观念应当更新。在清产上,一要明确清产的范围不仅是帐内资产,还应包括帐外资产及无形资产;二要严

期刊

财务管理体制国有资产管理企事业单位帐内产权归属计划管理分配关系

YYX系列通用财务系统〈一〉

由中国科技咨询服务中心开发出的Y Y x系列通用财务系统,经上级主管部门—中国科学技术协会推荐,已于1990年12月份上报财政部进行评审。关于本系统的编排与特点已在本刊90年

期刊

记帐方法YYX使用层次咨询服务中心报表设计凭证输入全部收入期初余额累计发生额财会工作

FQPSK家族——一种频谱和功率高效的调制技术

介绍了一种新的恒包络调制技术，即ＦＱＰＳＫＭｏｄｅｍ家族。该Ｍｏｄｅｍ家族的频谱效率、功率效率和误码率等性能优良，能明显增大系统的容量，而且电路结构简单，对于卫星通信和陆地移动通信，尤其是蜂窝系统

期刊

调制技术FQPSK移动通信频谱效率个人通信蜂窝系统陆地移动高速数据通信恒包络相移键控

离子注入在Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体中的应用

与本文相关的学术论文