【摘 要】
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六方氮化硼(h-BN)具有六角网状晶格结构和高化学机械稳定性,可以用来封装气体并长期保持稳定,适合用作新型信息器件及微纳机电器件的衬底材料,具有巨大的应用前景.近期,科研
【机 构】
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上海科技大学物质学院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院大学材料科学与光电技术学院,中国科学院超导电子学卓越创新中心
【基金项目】
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国家重点研发计划(批准号:2017YFF0206106),国家自然科学基金(批准号:51772317,91964102),中国科学院战略性先导科技专项(B类)(批准号:XDB30000000),上海市“超级博士后”和中国博士后科学基金(批准号:2019T120366,2019M651620)资助的课题.
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六方氮化硼(h-BN)具有六角网状晶格结构和高化学机械稳定性,可以用来封装气体并长期保持稳定,适合用作新型信息器件及微纳机电器件的衬底材料,具有巨大的应用前景.近期,科研人员发现氢原子可以无损穿透多层h-BN,在层间形成气泡,可用作微纳机电器件.本文研究了氢等离子体处理时间对h-BN气泡尺寸的影响.发现随着处理时间的延长,气泡尺寸整体变大且分布密集程度会降低.原子力显微镜的测量发现所制备的h-BN气泡具有相似的形貌特征,该特征与h-BN的杨氏模量和层间范德瓦耳斯作用相关.此外,发现微米尺寸气泡的内部压强约
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