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采用线状激光等离子体作为软X光源,用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量.谱仪测谱范围20nm～40nm,谱分辨0.05nm,测得50层C/Al反射镜在中心波长28.6nm处反射率为22%±4%,带宽约为2.5nm.
软X射线多层膜反射镜的反射率测量
【摘 要】
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采用线状激光等离子体作为软X光源,用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量.谱仪测谱范围20nm～40nm,谱分辨0.05nm,测得50层C/Al反射镜在中心波
【机 构】
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中物院核物理与化学研究所等离子体物理
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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中国工程物理研究基础科研项目
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