采用线状激光等离子体作为软X光源,用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量.谱仪测谱范围20nm～40nm,......

采用线状激光等离子体作为软Ｘ光源，用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量。谱仪测谱范围２０ｎｍ￣４０ｎｍ，谱分辨０．０５ｎｍ，测得......