关于制备1 31 5nn 4 5 入射高反射镜的实验研究

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从优化膜系、控制膜厚、改善膜面、均衡应力等四个方面开展了实验研究工作,为制备1315nm 45°高反射镜提供一些判断实验数据,并提出改进的方法,从而使制备的高反射膜取得满意的结果:反射率大于99.8%.
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