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采用线状激光等离子体作为软Ｘ光源，用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量。谱仪测谱范围２０ｎｍ￣４０ｎｍ，谱分辨０．０５ｎｍ，测得５０层Ｃ／Ａｌ反射镜在中心波长２８．６ｎｍ处反射率为２２％±４％，带宽约为２．５ｎｍ。
软X射线多层膜反射镜的反射率测量
【摘 要】
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采用线状激光等离子体作为软Ｘ光源，用具有空间分辨的掠入射光栅谱仪对正入射多层膜反射镜进行了反射率测量。谱仪测谱范围２０ｎｍ￣４０ｎｍ，谱分辨０．０５ｎｍ，测得５０层Ｃ／Ａｌ反射镜在中心波长２８．６ｎｍ处反射率为２２％±４％，带宽约
【机 构】
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中物院核物理与化学研究所,中物院核物理与化学研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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中国工程物理研究基础科学研究基金资助课题
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