论文部分内容阅读
采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统,在单晶硅基底上,以三聚氰胺为氮源实现纳米金刚石（NCD）薄膜N原子掺杂,并通过控制反应气体的压力制备出不同条件的掺氮NCD薄膜。用场发射电子显微镜（FESEM）、原子力探针显微镜（AFM）和激光拉曼光谱（Raman）分析了不同气压对掺氮NCD薄膜表面形貌和物相成分的影响。结果显示：当压力由8 k Pa增加至12 k Pa时,薄膜颗粒尺寸减小,颗粒之间更加致密;表面粗糙度（RMS）也由90.4nm减少至40.4 nm;薄膜中金刚石相逐渐向SP2相转化。继续增加