【摘 要】
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针对大厚度、高深宽比金属微通道结构加工的难题，提出了一种带状电极电火花加工方法，利用厚度30～100μm的带状电极，在金属基体上高效制造微通道结构。研究了带状电极电火花加工机理，建立了带状电极在加工间隙中的运动模型，分析了影响带状电极运动的主要因素，搭建了带状电极电火花加工装置，开展了微通道结构带状电极加工实验研究，获得了带状电极电火花加工基础工艺规律。利用带状电极电火花加工方法成功加工出的具有2
【基金项目】
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国家自然科学基金（51975496）； 福建省对外合作（2021I0004）； 厦门市青年创新基金（3502Z20206035）资助项目；
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针对大厚度、高深宽比金属微通道结构加工的难题，提出了一种带状电极电火花加工方法，利用厚度30～100μm的带状电极，在金属基体上高效制造微通道结构。研究了带状电极电火花加工机理，建立了带状电极在加工间隙中的运动模型，分析了影响带状电极运动的主要因素，搭建了带状电极电火花加工装置，开展了微通道结构带状电极加工实验研究，获得了带状电极电火花加工基础工艺规律。利用带状电极电火花加工方法成功加工出的具有200条微通道的反应器结构和44×45微换热器阵列结构，表明带状电极电火花加工可以实现窄宽度（100μm以下）、大厚度（35mm以上）、高深宽比（10以上）和高精度（缝宽标准差3μm以内）的大批量微通道结构的高效加工，相关方法和技术有望在微模具、微散热器、微反应器等领域获得推广和应用。
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