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法国Biotray公司R＆D小组研发出了用于微结构表面生产的专项设备——MS10—100^TMv2在非无尘环境中可完成微结构制作所需的6种设备的工作。该产品全自动可编程。微结构表面制作包括以下基本工艺：表面制备、光致抗蚀剂涂覆、软性烘烤、紫外曝光、显影、硬性烘烤、湿蚀刻以及光致抗蚀剂的清除，为优化芯片生产所有参量均可编程。该技术可模块化，适于几乎所有常用的材料和多种规格、形状、厚度的衬底。