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介绍了芯片超薄化的历程，并且分析了贴膜工艺前移的必要性。阐述了贴膜原理，并对贴膜各阶段实施了压力控制，提出了贴膜台与贴膜棒相平行的调整方法，并且检测了贴膜完成情况。
超薄晶圆的贴膜研究
【摘 要】
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介绍了芯片超薄化的历程，并且分析了贴膜工艺前移的必要性。阐述了贴膜原理，并对贴膜各阶段实施了压力控制，提出了贴膜台与贴膜棒相平行的调整方法，并且检测了贴膜完成情况。
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2015年4期
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