CCD蓝敏技术

来源 :云南天文台台刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fdhwangwei
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C C D 用于天文领域已经有近20a ( 年) 的历史, 随着 C C D 技术的发展, 作为重要参数之一的量子效率也得到极大提高, 已经有许多效率在蓝端超过90 % 的芯片应用于天文观测。本文介绍了提高 C C D 蓝端量子效率的多种方法, 包括电极减薄、 Lumogen 镀膜、 C C D 减薄、紫外预照、电子预注入和增透膜等技术等等。可以看到, 采用 C C D 减薄、电荷注入和选择合适的增透膜可以使量子效率接近100 % C C D has been used in the field of astronomy for nearly 20 years. With the development of C D technology, the quantum efficiency as one of the important parameters has also been greatly improved. There have been many efficiencies of more than 90% The chip used in astronomical observations. This article describes several ways to increase quantum efficiency at the C C D blue end, including electrode thinning, Lumogen coating, C D thinning, UV pre-irradiation, electron pre-injection and AR coatings. As can be seen, using C C D thinning, charge injection, and the selection of a suitable AR coating can bring about a quantum efficiency close to 100%
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