CCD的近红外敏化技术

来源 :云南天文台台刊 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong451

【摘要】

：

理论上硅ＣＣＤ在０．１ｎｍ到１．１μｍ之间都有响应，但通常此种器件在８００ｎｍ以后量子效率下降明显，一般会小于５０％，其中最主要的原因是近红外光子的吸收深度大于ＣＣＤ的外延层厚度，使大量光子穿透整个器件。显然增加外

【作者】

：

宋谦季凯帆

【机构】

：

中国科学院云南天文台

【出处】

：

云南天文台台刊

【发表日期】

：

1999年4期

【关键词】

：

CCD 量子效率近红外敏化技术探测器 CCD QE NIR

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理论上硅ＣＣＤ在０．１ｎｍ到１．１μｍ之间都有响应，但通常此种器件在８００ｎｍ以后量子效率下降明显，一般会小于５０％，其中最主要的原因是近红外光子的吸收深度大于ＣＣＤ的外延层厚度，使大量光子穿透整个器件。显然增加外延层的厚度是解决这一问题的良好途径，但随着外延层的增加，必须使用高阻抗的材料，否则会明显的减低分辨率，另外增透膜的使用也会使量子效率大幅度提高，而且有效的减弱了干涉条纹的影响，新型Ｐ沟道

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