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针对传统角度抛光法检测的不足，提出将双片式角度抛光法用于蓝宝石衬底双面研磨亚表面损伤层深度的检测。双片式角度抛光法采用双晶片重合黏结的实验晶片组测量抛光斜面腐蚀裂纹，避免了传统角度抛光法因抛光斜面和原晶片平面分界边缘难以辨别而造成的测量误差；使用数显测长仪对实验晶片组抛光斜面加工轮廓进行测量，测量结果代入相应计算公式得出准确的斜面倾角，消除角度取值不准确带来的方法误差，提高了测量精度。经检测得到，单晶面抛光斜面平均裂纹宽度约为175μm、平均斜面倾角为4．91°，双面研磨单晶面亚表面损伤层深度约