【摘 要】
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本文认为在石墨电阻炉中,散射颗粒主要来自碳、钼及其化合物等杂质的污染,通入的CO_2能和高温中蒸发出来的夹杂在气氛中和熔体表面的碳、钼等固体微粒产生化学反应,生成挥发
【机 构】
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华中工学院固体电子学系,华中工学院固体电子学系,
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本文认为在石墨电阻炉中,散射颗粒主要来自碳、钼及其化合物等杂质的污染,通入的CO_2能和高温中蒸发出来的夹杂在气氛中和熔体表面的碳、钼等固体微粒产生化学反应,生成挥发性的CO、MoO_2、Mo(CO)_6等气态物质而除去,大大减少了炉内材料对熔体的污染,从而减少了晶体的捕获对象,使晶体的散射颗粒显著减少。
In this paper, it is considered that in the graphite resistance furnace, the scattering particles mainly come from the pollution of impurities such as carbon, molybdenum and their compounds. The introduced CO 2 energy and the solid particles such as carbon and molybdenum, which are evaporated in the atmosphere and melt, Chemical reaction, generate volatile CO, MoO_2, Mo (CO) _6 and other gaseous substances to remove, greatly reducing the contamination of the furnace material melt, thereby reducing the capture of the crystal, the crystal scattering particles significantly reduced.
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