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<正>半导体芯片是信息技术的重要基础。电子元件在芯片上集成度的迅速提高是集成电路性能提高、价格降低的重要原因,即著名的摩尔定律。但随着制程越发接近半导体的物理极限,电子元件将会难以继续缩小下去。在半导体技术发展的过程中,光刻胶(photoresist)扮演了至关重要的角色。例如,曝光光源从早期的436 nm汞灯光源发展到现在的13.5 nm激光诱导等离子体极紫外光