STUDY ON COMPOSITION, MICROSTRUCTURE AND HARDNESS OF DLC FILMS BY VCAD

来源 :金属学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Sqiwei

【摘要】

：

DLC super-hard films have been deposited on the substrates of single crystalline Si, pure Ti and stainless steel 18-8 by a method of vacuum cathode arc depositi

【作者】

：

L.Chen Z.Y.Liu D.C.Zeng W.Q.Qi

【机构】

：

InstituteofMaterialsScience&,Technology,GuangzhouResearchInstituteofNon-FerrousMetals

【出处】

：

金属学报：英文版

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

DLC薄膜超硬薄膜显微硬度显微结构 VCAD 制备单晶硅纯钛不锈钢 DLC films vacuum cathode arc deposition

【基金项目】

：

广东省自然科学基金，教育部科研项目，广东省纳米材料科技计划，广东省科技攻关项目

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DLC super-hard films have been deposited on the substrates of single crystalline Si, pure Ti and stainless steel 18-8 by a method of vacuum cathode arc deposition(VCAD). The composition, microstructure and micro-hardness of the films have been studied in

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