热处理条件对溶胶-凝胶法制备多孔TiO,2薄膜微观结构的影响

来源 :第三届全国溶胶-凝胶科学技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianyou424
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以钛酸异丁酯为先驱物,乙二醇甲醚为溶剂,羟基纤维素(HPC)为添加剂,用溶胶-凝胶法制备了厚度在270nm~420nm的多孔TiO<,2>薄膜.重点研究了薄膜微观形貌与热处理时间的关系,并对薄膜的截面电阻率进行了研究.在二次热处理温度550℃下处理60min下得到多孔、厚度最大,截面电阻率最小的TiO<,2>薄膜.
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