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介绍了用于复合轴式光电精密跟踪的双X-Y轴FSM控制系统,即增加了与原X-Y控制轴成90°的2个虚轴,以实现对误差变化量的控制.仿真测试表明:该子系统可以对主系统高频噪声进行有效抑制,较单X-Y轴控制精度提高了6″.
快速反射镜双X-Y轴控制的仿真研究
【摘 要】
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介绍了用于复合轴式光电精密跟踪的双X-Y轴FSM控制系统,即增加了与原X-Y控制轴成90°的2个虚轴,以实现对误差变化量的控制.仿真测试表明:该子系统可以对主系统高频噪声进
【机 构】
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中国科学院,中国科学院
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2005年z1期
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