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首次利用喷雾热分解法成功地制备出低压ＺｎＯ压敏薄膜。沉积温度３５０℃，沉积时间２ｈ；退火温度６５０℃，退火时间１ｈ。Ｘ射线分析表明薄膜经退火后已良好晶化。其非线性系数α为８．０９；压敏电电压Ｖ１ｍＡ为１３．１５Ｖ。实验表明通过制备ＺｎＯ薄膜可得到较低的压敏电压。
喷雾热分解法制备ZnO系低压压敏薄膜
【摘 要】
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首次利用喷雾热分解法成功地制备出低压ＺｎＯ压敏薄膜。沉积温度３５０℃，沉积时间２ｈ；退火温度６５０℃，退火时间１ｈ。Ｘ射线分析表明薄膜经退火后已良好晶化。其非线性系数α为８．０９；压敏电电压Ｖ１ｍＡ为１３．１５Ｖ。实验表明通
【机 构】
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中国科学院新疆物理研究所
【出 处】
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硅酸盐学报
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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西部之光项目资助
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