【摘 要】
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近年来,软X光区和极远紫外区(统称XUV区)的工作有了迅速的发展,与此相应,光学薄膜技术也扩展到了XUV区。本文回顾了XUV区薄膜技术的发展,综述了高反膜、滤光膜、偏振膜等的设
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近年来,软X光区和极远紫外区(统称XUV区)的工作有了迅速的发展,与此相应,光学薄膜技术也扩展到了XUV区。本文回顾了XUV区薄膜技术的发展,综述了高反膜、滤光膜、偏振膜等的设计、特性和应用,也介绍了作者自己在这方面的工作。
In recent years, the work of the soft X-ray region and the extreme ultraviolet region (collectively, the XUV region) has undergone rapid development. Correspondingly, the optical film technology has also been extended to the XUV region. In this paper, the development of thin film technology in XUV area is reviewed. The design, characteristics and application of high reflectivity film, optical filter film and polarizing film are reviewed. The author also introduces his work in this field.
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