新结构MOS/晶闸管的器件机理与研制

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kangyue_1314
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本文提出了两种新结构MCT器件,通过器件模拟器PISCES-ⅡB对其关断机理进行了二维数值求解.采用自对准三重扩散工艺,成功地实现了两种新结构MCT器件,其电流关断能力分别达到114A/cm2和41A/cm2. In this paper, two new structures of MCT devices are proposed. Their shutdown mechanisms are solved numerically by the device simulator PISCES-IIB. By using the self-aligned triple diffusion process, two new MCT devices have been successfully realized with the current cut-off of 114A / cm2 and 41A / cm2, respectively.
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