环形抛物面反射镜参数综合测量仪设计与研究

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环形抛物面反射镜是位标器等光学系统的关键光学元件。本文成功研制了一台综合测量环形抛物面反射镜焦点弥散斑、焦距和偏心角的测量仪。该测量仪能够同时测量环形抛物面反射镜的焦距、弥散斑中心、弥散斑大小、偏角大小等多个参数,满足生产现场的测量要求。本文采取基于平行光管的测量方案,测量方案结构简单,测量方法和结果直接与系统应用要求相关,具体研究内容如下:(1)分析焦距测量、弥散斑大小测量、弥散斑中心测量和偏角大小测量方法的技术现状,提出综合测量方案,明确测量的相关参数指标。(2)提出基于平行光管测量焦距、弥散斑中心、弥散斑大小和偏角的方案,对方案进行理论分析;依据测量方案对测量系统中的光学系统、运动系统、信息采集系统进行分析,得到相关器件的设计要求;对测量仪旋转台机械误差带来的偏角测量误差进行分析,为矫正误差和降低旋转台机械结构精度要求提供思路。(3)依据测量方案对偏角测量进行仿真,验证偏角计算公式在测量小角度时适用;对旋转台机械位置误差和机械角度误差进行分析,提出180°翻转两次测量消除旋转台角度误差、降低对旋转台机械结构精度要求的方法并推导出相关公式;依据无偏角反射镜对偏角测量结果进一步校准,推导出校准公式。(4)根据确定的测量系统方案,选择合适的器件,并对部分器件进行改进,在测量仪软件操作系统开发配合下,完成测量仪的组装和调试。(5)利用带有偏角和无偏角的标准镜片对测量仪进行验证,现场应用结果证明:测量焦距的相对误差在0.1%以内,光斑大小测量满足设计要求,对于偏角的测量,采用180°翻转两次测量消除旋转台角度误差的方法,可以大大降低对系统机械结构精度要求,同时保证相对误差在4.1%以内,验证了测量方法的准确性。对偏角的测量结果进一步校准,测量结果误差小于一个角度分辨率,说明了测量仪的准确性。
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