工程陶瓷材料具有优良的物理、化学特性，如耐高温、耐腐蚀、硬度高等。超声加工受工件的电、化学特性的影响较小，是加工这一类硬脆材料的好方法。但传统的超声加工属工具“拷贝”式加工，一般用于硬脆材料上孔的加工，而如何实现二维、三维的数控展成超声波加工是本课题的主要内容。 本文阐述了超声波加工的基本原理和材料切削机理，在前期构建的二维超声波加工试验装置上，以玻璃、氧化铝、石英为研究对象，进行了二维数控展成超声加工的试验研究，总结各可变加工工艺参数对加工质量和效率的影响规律，并阐述超声波加工的材料去除模型。 同时，构建了三维数控超声加工的试验装置，研究三维超声加工工艺特性。以玻璃为加工试验材料，对三维曲面的数控展成超声波加工进行了初步工艺试验研究，探讨了Z方向进给量、X轴进给速度对工作静压力的影响，为以后数控超声加工技术的深入研究与开发打下基础。