【摘 要】
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本文对扫描微镜的设计与模拟进行了研究。结果表明：当在扫描微镜和外框架上都有驱动力作用时，微镜所产生的运动不仅仅是在微镜上和外框架上各自作用着相应的驱动力时的微镜运动
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本文对扫描微镜的设计与模拟进行了研究。结果表明：当在扫描微镜和外框架上都有驱动力作用时，微镜所产生的运动不仅仅是在微镜上和外框架上各自作用着相应的驱动力时的微镜运动的简单叠加，且外框架电极对微镜运动的影响比微镜电极对外框架运动的影响来得大。这样，为了满足精度需要，控制系统将变得非常复杂。因此，如何减小微镜与外框架间的耦合将是以后的研究方向。
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