液动压悬浮抛光相关论文
面向纳米薄膜生长衬底的原子级超光滑表面要求,提出了液动压均匀分布的悬浮抛光新方法。该方法的核心技术是采用抛光液浸没工件的......
纳米材料和纳米技术的快速发展,使得纳米薄膜在工程领域得到了广泛应用。目前常用的纳米薄膜制备方法,如离子束溅射沉积、磁控溅射......
纳米薄膜独特的力学、光学、电磁学特性,使其在工程领域内被广泛应用。常用的纳米薄膜制备方法,无论是物理或化学气相沉积法还是电......
纳米薄膜独特的力、光、电磁效应,使其在微电子、光学、生物等领域应用广泛。原子级超光滑衬底表面是制备纳米薄膜的基石,衬底表面......
针对液动压悬浮抛光固-液两相流中固相颗粒与工件表面撞击的过程,对不同加工工况下的固相颗粒与工件表面的撞击角度和速度进行了研......
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为对液动压悬浮抛光工具盘结构参数进行优化,首先通过正交试验和CFD数值模拟,利用方差分析法分析抛光工具盘各结构参数对加工区域......
超光滑表面加工技术作为超精密加工体系的重要组成部分,在光学仪器、航空航天、国防工业、高精密机械等高尖端领域中获得广泛的应......
