GaN基高压LED芯片结构设计与制备

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发光二极管(Light Emitting Diode,LED)由于拥有高光效、低耗能、长寿命、无毒绿色等优点正逐步成为传统照明市场的主流照明光源,在景观照明、道路照明、室内照明等领域得到愈来愈多的应用。近几年,高压LED(High-Voltage LED)方面研究的兴起,意味着传统小电压LED芯片已经不足以满足人们在产品驱动电路设计上的需求。同时,高压LED芯片,解决了才传统LED芯片多晶封装中存在的可靠性问题,并以其小电流驱动、简洁的驱动电路设计等优点逐渐进入照明应用研发人员的视线。本课题使用目前主流的LED芯片制备工艺和制备技术,对高压LED芯片结构设计进行了基础性的研究。针对高压LED芯片的结构设计当中电极连接桥铺设时,容易出现断桥、漏电等问题优化芯粒间连接桥结构。使用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀机,调整刻蚀参数,在没有BCl3的条件下,刻蚀芯粒隔离槽的同时,将芯粒刻蚀出正梯形结构。正梯形底角平均角度为70.2°,使得铺设电极连接桥时,电极可以沿着芯粒边缘的梯形结构到达隔离槽底部,再从隔离槽底部上升到另一个芯粒的电极上,增强了电极稳定性,有效防止漏电情况的出现,优化生产良率。针对LED芯片侧面内全反射引起的光吸收效应,制备一种带侧面波浪形微结构的高压LED芯片。在不增加制备流程的情况下,制备出相应的高压LED芯片,并进行白光封装以及随机选片光电测试。测试结果表明,灯珠的显色指数封装后测试结果平均值超过82,而最高光效达到101.7lm/W。封装出较高的显色指数会在一定程度上降低出光效率和光输出功率。在改进封装工艺后,光效可以得到一定程度的提高。
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