平面波导光栅常数检测装置的研究

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光栅是光学仪器及光学信息处理系统中常用的重要光学元件。特别是作为全息波导显示技术重要衍射光学元件的平面波导光栅,可以说是可视化领域变革的一个重要技术支撑。由于光栅常数是平面波导光栅最重要的性能之一,因此精确测量光栅常数对验证平面波导光栅的加工精度具有十分重要的意义。本文使用360°转台和CCD相机设计搭建了一套针对平面波导光栅使用的光栅常数检测平台,开发了可以对光栅衍射光斑图像进行处理、并自动计算光栅常数的平面波导光栅常数检测的软件系统,系统标定的平均误差为0.07个像素。通过50线/mm和300线/mm光栅对检测平台进行了验证,并研究了入射光的入射角度对测量误差的影响。结果表明,光线垂直入射时,300线/mm光栅的光栅常数的检测误差为0.667%。因此该检测平台使用沿光栅法线方向入射的光来对光栅常数进行检测。进一步利用已经搭建的系统对全息平面波导光栅进行了检测,光源选用632.8nm、532nm和450nm三色的激光作为光源,检测了输出耦合光栅和转折光栅的光栅常数,结果显示:光栅常数测试结果与扫描电镜结果相当。可以得出结论,本文搭建的平面波导光栅常数检测平台能够满足光栅常数的检测要求。
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