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ZnO是一种具有六方纤锌矿结构的Ⅱ-Ⅵ族自激活的宽禁带半导体材料,是P6 mm点群对称的六角晶系纤锌矿晶体。室温下,其带隙宽度为3.37eV,激子束缚能高达60m eV。ZnO晶体在与c轴垂直的面上具有对称的弹性和电学性质,而在c轴方向择优取向的多晶薄膜具有单晶体似的光电性和压电性质。ZnO薄膜以其优良的压电性能、透明导电性能等使其在诸多领域得到广泛应用,如太阳能电池、压电器件、表面声波器件、气敏元件。并且凭借其优良的紫外发光特性使其在紫外探测器、LED、LD等领域有着巨大的发展潜力。另外ZnO的P