本论文是制备出具有悬臂梁结构的薄膜电阻型红外辐射源。在模拟加热电阻图形和研究器件加工工艺基础之上,对制备的红外辐射源进行了性能测试。具体内容如下：1.通过对各种金属材料和器件结构的比较,确定Pt、Ti为加热电阻的材料,以及悬臂梁结构作为绝热结构。利用有限元分析软件对加热电阻进行稳态和瞬态的热分析。结果表明,双绕线电阻图形比双螺旋电阻和单绕线电阻具有更高的温度响应,但是温度均匀性较差；器件模拟频率响应周期约为10Hz。2.通过对实验条件的反复优化,确定溅射金属薄膜的气压、电流、电压等制备工艺条件,光刻工艺条件,以及湿法刻蚀相关的浓度、温度、转速等工艺条件。同时对红外辐射源的关键制备工艺进行研究：设计具有良好密封性的腐蚀夹具,并且采用干法与湿法刻蚀相结合的工艺,实现支撑层结构精确释放。3.搭建红外辐射源的测试系统,对红外辐射源的稳态和动态响应进行测试。实验表明,支撑结构厚度严重影响红外辐射源响应性能,合理取值为2-5u m；红外辐射源在50%调制深度时频响特性约为13Hz；同时对不同悬臂梁结构和加热电阻图形的红外辐射源进行测试,得出各个图形与结构的输出电压曲线,通过对比可知,双绕线电阻图形和悬臂梁结构b符合实际器件的热学性能和机械性能。