X射线回摆曲线测定系统设计与开发

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【摘要】

：

随着电子信息产业的高速发展,单晶材料的品质和加工技术越来越受到重视,其中对单晶材料的品质进行精确检测是一道关键工序。采用X射线衍射技术对单晶材料进行无损检测是工业上一种常用的技术手段,通过对单晶晶片的X射线衍射可以得到晶片材料的回摆曲线,基于该回摆曲线就可以分析得到所检测单晶材料的品质特征参数,因此开发研制用于检测单晶材料品质的X射线回摆曲线仪具有重要的实际应用意义。针对X射线回摆曲线定向设备的技

【作者】

：

生斌

【机构】

：

东北大学

【发表日期】

：

2013年01期

【关键词】

：

X射线定向仪回摆曲线 PLC 聚类分析模糊识别

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