在超精密圆柱度测量仪器中,导轨的直线运动精度是制约其测量精度不断提高的核心问题.因此,该文围绕着如何提高圆柱度仪导轨的直线运动精度这一核心问题作了如下的研究工作.首先,通过对激光基准双向运动误差检测原理的分析研究,采用零位闭环反馈控制系统来提高导轨的直线运动精度.其次,研制了零位闭环反馈控制系统中的检测电路系统.由于四象限硅光电池检测到的是微弱的电流信号,因此要经过I／V转换、放大电路和加减运算电路的预处理后才能满足要求,我们是选用了AD公司生产的OP482和OP708B来实现的.最后,通过一系列的实验对各部分的单项性能指标进行了测试和验证,并对实验数据进行了分析与处理,且对主要的误差源进行了讨论,提出了相应的措施进行抑制和补偿.实验结果表明,在激光光源高稳定性的情况下,研制的零位闭环反馈控制系统的各关键环节具有很好的稳定性、线性和精确性,从而为提高导轨直线运动精度奠定了技术基础.