触针式表面形状测量仪测量误差校正理论研究

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该文从理论上研究了一种校正测量仪内部大量程传感器非线性特性的方法.这种方法是用多项式来拟合传感器的输入输出关系,从而得到校正方程.这样,在应用中将传感器的输出值通过校正方程进行校正,即可消除其非线性特性对测量结果的影响.该文研究了两种构造非线性校正多项式的方法.1.解矩阵方程法.由传感器的标准输入和对应输出量,通过解矩阵方程求得校正多项式系数.2.最小二乘拟合法.由传感器的标准输入和对应输出量,用最小二乘拟合法求得校正多项式系数.文中还研究了大量程传感器的触针针尖半径对传感器非线性特性校正的影响,给出了修正公式.考虑到用于校正传感器特性的标准物质表面存在粗糙度,用仿真法研究了该表面粗糙度对校正结果的影响.该文研究了传感器非线性特性校正的数学模型建立方法,并用仿真实验比较各种校正方法,给确定最佳校正方案提供了理论依据.
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