臭氧作为强氧化剂和消毒剂具有广泛的用途。它不仅可以快速杀死细菌和几乎所有的病毒,杀灭能力远胜于水处理和医疗上常用的氯等消毒剂,而且还能氧化分解许多有毒有害的有机物和无机物,在水处理等领域有着广泛的应用。沿面放电法是一种新型的臭氧发生方法,放电沿电极介质表面进行,致使气体（纯氧或空气）产生等离子体,引起强烈的电化学反应而生成臭氧。通过对施加在电极上的电源的电压、频率,原料气体的流量和压力的控制,实现对臭氧生成量、浓度及效率的控制,其控制效能则依赖于电极的结构形式、电介质的介电性能等。本文通过对沿面放电法臭氧发生系统的工作电压、频率、气体流量等条件的分析和试验表明:提高电介质的介电常数和表面比电阻,降低电介质的厚度,可以提高放电电场强度。另外,加强电极冷却,降低放电电场的温度,从而减少臭氧的分解,都可以提高臭氧的发生效率。本文研究设计的管式沿面放电电极,采用Al₂O₃为电介质的主要成分,以涂搪作为电介质的涂敷工艺,制作的臭氧发生器电极可以实现更高效的沿面放电,同时可以采用循环水进行冷却。试验表明,该电极具有金属骨架,机械强度好,安装方便,制作工艺简单易行,技术成熟。所得电极在试验条件下的臭氧产率可达到108.7 gO₃/kwh,比已有的电极提高了30%以上。