氧化锗空芯光波导反射膜的制备研究

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本研究工作介绍了二氧化碳(CO2)激光和空芯光波导的特点及应用,并采用酸诱导液相沉积法在石英玻璃管内壁生长了氧化锗(GeO2)陶瓷膜,然后对其进行热处理得到致密的空芯光波导反射膜。实验中通过控制锗酸根离子前驱液的制备参数,酸诱导液相沉积反应过程以及热处理的工艺参数,对GeO2陶瓷膜和反射膜的组成、形貌、厚度以及激光传输损耗进行了研究和讨论。实验结果表明,氨水溶液和六方GeO2反应可以得到透明稳定的锗酸根离子溶液,加入酸后可以使锗酸根离子逆向分解,当由锗酸根离子分解产生的GeO2溶质的浓度
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