在激光加工领域，射频CO2激光器由于其卓越的性能而得到了广泛的应用，国内相关机构也开展了这方面的研究，但是还没有国产射频CO2激光器投入运用。本文重点对射频CO2激光器射频激励源进行了研究。
　　 文章首先介绍了射频CO2激光器发展历史及研究现状，接着介绍了高频击穿理论和射频激励，并介绍了射频CO2激光器的结构和冷却的方法，总结了射频CO2激光器高效运转的因素，这对深刻理解射频激励源的性能要求有着重要意义。
　　 然后介绍了元器件高频模型。元器件的特性在高频条件下和低频条件下有很大的差别，不同的类型、相同数值的元件在具体电路中的表现也会有很大差别，如果选择不合理，将会导致实际的激励源和设计的激励源有很大差别，甚至根本就不能工作。同时介绍了印制板材的选择，这也是一个影响激励源性能的重要因素。
　　 接着分析了射频激励源的阻抗要求，并给出了测定射频放电阻抗的方法。本文所研究的射频激励源并非50Ω（或75Ω）标准工业射频电源，因此为了达到对负载的输出功率要求，必须预先知道激光器射频放电阻抗。
　　 最后基于SYNRAD 48J-1激光器，详细介绍了三种激励源的设计方案及相关理论。
　　 (1)集中参数多极放大射频激励源；
　　 (2)运用微带线技术的射频激励源；
　　 (3)功率振荡器射频激励源。
　　 在设计过程中，使用了ADS2003C仿真平台，运用了谐波平衡仿真、相位噪声分析等技术。
　　 在SYNRAD 48J-1激光器上的实验表明，三种方案都具有可行性，但是从各方面因素考虑，射频激励源应该朝着微带线与功率振荡器相结合的方向发展。