虚拟样机技术在设计高功率横流CD₂激光器中的应用能够缩短激光器的设计周期，提高激光器的质量，降低制造成本，提高高功率横流CO₂激光器的市场竞争能力。高功率横流CO₂激光器虚拟样机与设计标准的相似程度大小直接影响到设计要求的实现程度，因此对于高功率横流CO₂激光器虚拟样机评价的研究具有重要的意义。 本文首先分析了国内外对高功率横流CO₂激光器虚拟样机的评价及其相关技术的现状，并论述了研究高功率横流CO₂激光器虚拟样机的评价技术的必要性。 在对高功率横流CO₂激光器的结构原理和工作性能及其虚拟样机论述的基础上，以高功率横流CO₂激光器的设计要求为标准，建立了其虚拟样机的评价指标体系，并运用综合评价理论对指标进行了数学处理。同时，根据各个指标的重要程度确定了其权重系数。 将相似理论运用到虚拟样机的评价中可以反映出虚拟样机与设计要求之间的差异大小。本文将相似理论融合到综合评价理论中，通过构造相似元来计算高功率横流CO₂激光器设计要求与其虚拟样机之间的相似度，提出了高功率横流CO₂激光器虚拟样机评价的相似法。 本文采用面向对象的软件工程方法对高功率横流CO₂激光器虚拟样机评价软件的需求进行了分析，并用UML中的用例图、状态图和类图分别从功能、逻辑和静态结构三个方面对软件模型进行了描述，提出了主要算法，在详细设计过程中应用COM组件技术对其中逻辑部分进行封装，以便于升级和改进，开发了高功率横流CO₂激光器的虚拟样机评价的软件系统。