随着我国氧碘化学激光器输出能量不断提高,因此改善光束质量成为迫切需要。目前限制光束质量的主要因素之一是出光过程中的光腔失调,因此针对该问题提出了氧碘化学激光光学谐振腔自准直研究方法。在针对空腔的实验过程中,需要外部穿腔光作为光源,实验过程中要使得穿腔光通过凹腔镜中心并在光学谐振腔中进行反射和干涉,最后于凸腔镜后方成同心圆环像。因此实验首先要保证引导光可以准直进入凹腔镜中心,其次要使得光学谐振腔凹凸腔镜互相平行。首先,通过氦氖穿腔光射入到谐振腔里时,会在凹腔镜后方成像为一激光光斑,通过调整装置使得氦氖穿腔光准直射入到谐振腔里,采用最小二乘法圆拟合等图像处理方法获取激光光斑在计算机图像上的中心坐标,通过调整氦氖穿腔光的入射角度发现激光光斑的中心坐标会发生相应变化,因此可以将坐标变化量作为氦氖激光器与谐振腔自准直的失调判据,所以获得准确的激光光斑中心坐标可以作为后续的自准直实验的理论依据。其次是利用氦氖穿腔光通过凹腔镜中心小孔,并在凸腔镜后方放置工业相机,在屏幕上形成一个干涉同心圆环。通过借助计算机视觉库中二值化,霍夫圆检测等图像处理的方法,获得干涉同心圆环的圆心坐标,再通过以圆心为中心将图像分成上下左右四个部分,通过判断这四部分亮点像素的数量差值来预估干涉同心圆环的偏移状态,进而获得空腔条件下光学谐振腔发生变化的理论失调判据。本文在光学实验室中进行测试,实验结果表明,该方法可以获得相当精准的光学谐振腔失调判据,其失调判据选取左右亮点像素差值30000,上下亮点像素差值45000,为今后失调判据与步进电机自动调腔的结合做好充足的准备。