【摘 要】
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该文应用分子动力学模拟技术结合非线性动力学分析,研究工艺参数、刀具、加工环境等因素对微纳米加工表面形成的影响,并用原子力显微镜（AFM）进行压痕和微加工实验验证.这对于全
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该文应用分子动力学模拟技术结合非线性动力学分析,研究工艺参数、刀具、加工环境等因素对微纳米加工表面形成的影响,并用原子力显微镜（AFM）进行压痕和微加工实验验证.这对于全面认识微纳米表面的形成机理,指导实际加工生产,具有重要的理论意义和实用价值,并将为纳米加工技术的进一步发展提供理论基础.该文首先分析了超精密加工和纳米加工过程中的非线性源,对传统的分子动力学模型进行了改进,建立了新的非线性分子动力学模型,并推导了求解算法.另一方面,该文应用分子动力学对微纳米加工表面完整性问题进行了研究,对其评价参数做了模拟计算,对表面残余应力、微观硬度等对表面完整性的影响进行了研究,并用AFM金刚石针尖对单晶硅的微加工和压痕实验结果进行验证.
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